我国首条光刻用石英玻璃基板成套生产线建成
2016/6/12 0:00:00来源： 中国建筑质料科学研究总院
近日 ，中国建材总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造技术 ，在衢州建立了海内首条从基板原质料制造到产品加工的成套生产线 。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板 ，突破了石英玻璃基板原质料及产品恒久依赖进口的局面 。
该生产线的建立 ，是中国建材总院担负的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种质料要害技术研发及示范”课题的结果之一 。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的焦点器件 ，市场需求量巨大 。作为石英玻璃基板的原质料 ，合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点 。然而 ，受原质料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约 ，我国石英玻璃基板恒久依赖进口 。
作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所 ，中国建材总院石英院依托浙江衢州高新园区的化人为源 ，形成了循环经济工业链 ，建立了高性能石英玻璃研发基地 ，并建立中建材衢州金格兰石英有限公司 。经科研人员不懈努力 ，形成一套切合我国行业现状与生长趋势的独吞工艺路线 ，不但解决了石英玻璃基板原质料的纯度、均匀性难题 ，同时实现了原质料绿色制造 。石英院还引入多刀切割、宁静快速磨抛工艺 ，创立性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技术 ，解决了石英玻璃基板加工精度的难题 。从基板原质料制造到产品加工 ，石英院形成专利20余项 ，行业标准、国军标及国家标准10余项 ，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品 ，不但逐步替代进口 ，实现了集成电路等用高性能石英玻璃要害质料及制品的国产化 ，并且出口欧洲、日本等国 。